Rigaku透過27%的股權投資，與Onto Innovation建立策略聯盟

透過X光、光學與AI整合，拓展半導體發展機會

東京--(美國商業資訊)-- Rigaku Holdings Corporation（總部：東京昭島市；社長兼執行長：Jun Kawakami，下稱「Rigaku」）為全球領先的X光分析技術企業，今日宣布已與Onto Innovation Inc.（總部：美國麻薩諸塞州；執行長：Michael P. Plisinski，下稱「Onto Innovation」）建立策略性資本及業務聯盟。

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Rigaku Holdings Corporation社長兼執行長Jun Kawakami表示：「因應半導體器件日趨複雜，特別是三維結構重要性不斷提升，Rigaku一直致力於在光學量測領域引入基於模型且由AI驅動的先進演算法，以提升分析能力。Onto Innovation不僅在光學技術及軟體方面具備深厚專業知識，亦擅長X光分析物理建模，是我們理想的合作夥伴。」

本次合作直接配合Rigaku於半導體製程控制領域的核心增長策略。雙方致力透過整合Rigaku的X光技術，以及Onto Innovation在光學量測與先進分析軟體（包括AI驅動解決方案）方面的互補優勢，為日益複雜的半導體器件提供新一代混合量測解決方案。

Onto Innovation Inc.執行長Michael P. Plisinski表示：「隨着業界在半導體生產中引入更複雜的嶄新材料，並採用全新的3D晶體管結構，以及先進封裝技術以實現3D及2.5D小晶粒架構，產業變革步伐正不斷加快。這些轉變促使業界尋找創新方式，來量測、進行特性分析，並最終實現對新製程技術的控制。我們很高興能擴大與Rigaku的合作，共同提供客戶維持創新優勢所需的解決方案。」

雙方先前已在混合式量測解決方案方面展開合作，將Rigaku的CD-SAXS技術與Onto Innovation的分析軟體整合。本次簽署的新協議將進一步加速並擴大這項共同開發工作。

關於Onto Innovation：Onto Innovation為製程控制領域的領軍企業，擁有全球化規模及廣泛的尖端技術組合，涵蓋：無圖樣晶圓品質檢測、從覆蓋納米級晶體管至大型晶粒互連結構的3D量測技術、晶圓及封裝的宏觀缺陷檢測、金屬互連成分分析、工廠資料分析，以及用於先進半導體封裝的光刻技術。Onto Innovation總部位於美國麻薩諸塞州威明頓，透過全球銷售及服務網路為客戶提供支援。如需詳細資訊，請造訪https://ontoinnovation.com/

策略重點

• 配合核心成長策略：加強Rigaku於半導體製程控制領域的布局，此為未來成長的重要動力
• 技術高度互補：Rigaku的X光解決方案結合Onto Innovation的光學及軟體能力，帶來協同效益，為客戶提供更深入的製程見解
• 因應產業結構演變：應對客戶日趨複雜的需求，以及半導體製造領域複雜性持續提升的趨勢
• 提升競爭力：本次交易有助Rigaku進一步提升其在半導體製程控制領域的競爭優勢

關鍵舉措

• 加強前段製程混合式量測能力：結合X光與光學技術，提升先進邏輯及記憶體器件的量測能力
• 進駐先進封裝領域：加快切入先進封裝中的檢測與量測應用領域
• 開拓新市場：目標於2030年前為Rigaku產品創造至少3億美元的新增市場機會
• 整合軟體與AI：支援開發涵蓋量測、分析、製程最佳化及良率管理的整合式解決方案
• 擴大全球客戶覆蓋面：藉由Onto Innovation的全球客群基礎，擴大Rigaku的市場版圖

股權投資

Onto Innovation已與Atom Investment, L.P.簽訂最終協議，將收購其持有的61,123,436股Rigaku股份（佔截至2026年3月31日除庫藏股外已發行股份總數的27.0%），建立雙方長期策略合作關係。

治理方式

Rigaku將繼續以上市公司身分保持管理獨立性。本協議亦包含多項條款，以確保長期穩定的合作關係，包括對股權轉讓及進一步增持的若干限制。
有關詳細資料，請參閱Rigaku於今日發布的即時披露文件，相關資料已刊載至公司網站及東京證券交易所網站。

關於Rigaku Group

自1951年創立以來，Rigaku集團的工程專業團隊始終致力以尖端科技造福社會，尤其在X射線與熱分析等核心領域成果卓著。業務遍及全球136個國家與地區，旗下9個國際據點約2,000名員工，使Rigaku成為產業與研究分析機構的解決方案夥伴。在維持日本市場極高市佔率的同時，我們的海外銷售比例已達約70%，並持續與客戶共同發展成長。隨著應用領域從半導體、電子材料、電池、環境、資源、能源、生命科學延伸至其他高科技範疇，Rigaku正實踐「以嶄新視角驅動創新，改善我們的世界」的使命。
如需詳細資訊，請造訪： rigaku-holdings.com/english

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媒體聯絡人：
Sawa Himeno
Rigaku Holdings Corporation傳訊部總監
prad@rigaku.co.jp

雙品牌標誌

Rigaku的「XTRAIA CD-3200T」X光量測系統與Onto Innovation基於模型的分析技術